BEGIN:VCALENDAR VERSION:2.0 PRODID:https://murmitoyen.com/events/vanille/udem/ X-WR-TIMEZONE:America/Montreal BEGIN:VEVENT UID:69da30ce84ade DTSTAMP:20260411T073022 DTSTART:20181115T100000 SEQUENCE:0 TRANSP:OPAQUE DTEND:20181115T100000 URL:https://murmitoyen.com/events/vanille/udem/detail/842714-soutenance-de- these-de-doctorat-de-vincent-roy-garofano LOCATION:Université de Montréal - Pavillon Claire-McNicoll\, 2900\, chemi n de la Tour\, Montréal\, QC\, Canada\, H3T 1J6 SUMMARY:Soutenance de thèse de doctorat de Vincent Roy-Garofano DESCRIPTION:Diagnostics spectroscopiques de plasmas RF en régime de pulvé risation physique et en présence de générations successives de poussiè res dans les chimies organosiliciées Les travaux de recherche présentés dans cette thèse de doctorat caractérisent\, premièrement de manière isolée puis combinée\, les processus de dépôt de couches minces par pu lvérisation physique d’une cible d’argent et par ajout d’un précur seur organosilicié. En régime de pulvérisation physique\, nous avons no tamment montré à partir de mesures par spectrométrie de masse que la fo nction de distribution en énergie des ions au voisinage du substrat peut présenter une queue énergétique\, un effet que nous avons aussi pu mod éliser en considérant la thermalisation incomplète des espèces pulvér isées suivant leurs interactions avec les espèces du plasma. Une nouvell e méthode pour le calcul du rendement de pulvérisation des atomes de la cible basée sur l’analyse de mesures de sonde de Langmuir et d’émiss ion optique a également été mise au point. Celle-ci a par la suite ét é utilisée pour caractériser le phénomène d’empoisonnement de la ci ble d’argent causé par l’ajout du précurseur hexaméthyldisiloxane ( HMDSO). Dans ce régime hybride\, nous avons confirmé la pertinence d’u ne injection pulsée du précurseur pour réduire l’empoisonnement. Fina lement\, la croissance de nanoparticules\, ou poussières\, dans les plasm as hybrides contenant une cible d’argent et le précurseur HMDSO inject é de manière pulsée est étudiée à la fois par des mesures de spectro scopie optique d’émission couplée à un modèle collisionnel-radiatif et par des mesures de spectrométrie de masse. Dans ces conditions\, le pl asma est caractérisé par une dynamique à plusieurs échelles temporelle s\; l’injection pulsée du précurseur se déroule sur des périodes de 5 secondes alors que le cycle complet de formation et de disparition des p oussières prend plusieurs centaines de secondes. Cette évolution multi- échelle permet de séparer les phénomènes et de correctement caractéri ser l’impact de l’HMDSO et de la formation de poussières sur les prop riétés fondamentales du plasma\, en particulier la densité et la tempé rature des électrons\, la population des atomes dans un niveau métastabl e\, ainsi que la cinétique de fragmentation de la molécule mère. Le rô le des parois et des électrodes dans la dynamique de formation d’hydroc arbures agissant comme précurseur à la formation de nanoparticules est également démontré. END:VEVENT BEGIN:VTIMEZONE TZID:America/Montreal X-LIC-LOCATION:America/Montreal END:VTIMEZONE END:VCALENDAR