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LOCATION:Université de Montréal - Pavillon J.-Armand-Bombardier\, 5155\, 
 chemin de la rampe \, Montréal\, QC\, Canada\, H3T 2B2
SUMMARY:Des MOEMS pour les futurs instruments dans l’espace : le cas des 
 grandes matrices de micro-miroirs
DESCRIPTION:Frederic ZAMKOTSIAN\, Laboratoire d'astrophyisque de Marseille
 \, Marseille\, France.Multi-object spectroscopy (MOS) is a powerful tool f
 or space and  ground-based telescopes for the study of the formation and 
 evolution of  galaxies. This technique requires a programmable slit mask 
 for astronomical object selection. We are engaged in a European developme
 nt of micromirror arrays (MMA) for generating reflective slit masks in  
 future MOS\, called MIRA.MMA with 100 x 200 µm2 single-crystal silicon mi
 cromirrors were  successfully designed\, fabricated and tested\, together
  with EPFL (Switzerland). Arrays are composed of 2048 micromirrors (32 x 
 64) with a peak-to-valley deformation less than 10 nm\, a tilt angle of 24
 ° for an actuation voltage of 130 V. The micromirrors were actuated succ
 essfully before\, during and after cryogenic cooling\, down to 162K. The 
 micromirror surface deformation was measured at cryo and is below 30 nm pe
 ak-to-valley.The performances of our micromirror array fulfil the requirem
 ents for  future MOS instruments in space. MIRA could also be a key compo
 nent for Earth Observation missions\, providing unique capabilities at th
 e entrance of a spectrograph\, or by being the core component of a  prog
 rammable wide field spectrograph. We will present instrument  demonstrato
 r designed and integrated at LAM for showing the unique and  original use
  of these MOEMS devices in a wide range of application.Les spectrographes 
 multi-objets (MOS) sont des outils particulièrement puissants montés sur
  les télescopes au sol et dans l’espace pour l’étude de la formation
  et de l’évolution des galaxies. Cette technique a besoin d’un masque
  avec des fentes reconfigurables pour la sélection des objets astronomiqu
 es. Nous développons au sein d’un consortium européen une matrice de m
 icro-miroirs (MMA)\, appelé MIRA\, pour générer des fentes en réflexio
 n dans les futurs MOS.Nous avons conçu\, réalisé et testé avec l’EPF
 L (Suisse) une matrice de micro-miroirs d’une taille élémentaire de 10
 0 x 200 µm2 en silicium monocristallin. Les matrices sont constituées de
  2048 micro-miroirs (32x64) avec une déformation de surface inférieure 
 à 10nm pic-à-vallée\, un angle de tilt mécanique supérieur à 20°\, 
 pour une tension d’actionnement de 130V. Les micro-miroirs ont tilté a
 vec succès avant\, pendant et après avoir été refroidis à une tempér
 ature cryogénique de 162K. La déformation de surface a été mesurée à
  froid et en actionnement\, et est inférieur à 30nm pic-à-vallée.Les p
 erformances de notre matrice de micro-miroirs remplissent les besoins des 
 futurs instruments MOS dans l’espace. MIRA peut également être un comp
 osant-clé pour l’Observation de la Terre\, permettant de réaliser une 
 fente « intelligente » à l’entrée du spectrographe\, ou étant le co
 mposant au cœur d’un spectrographe programmable grand champ. Nous prés
 enterons également les démonstrateurs d’instruments que nous avons con
 çus et intégrés au LAM pour montrer les capacités uniques et originale
 s d’instruments basés sur des MOEMS\, pour une large gamme d’applicat
 ions.Site web du groupe du Dr. ZamkotsianCette conférence est présenté
 e par le RQMP Versant Nord du Département de physique de l'Université d
 e Montréal et le Département de génie physique de Polytechnique Montré
 al.
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